真空技术中的清洁处理一般指的是真空装置的结构材料、填装材料和真空零部件的清洁处理


在各类真空工艺生产中,例如电真空工艺、真空镀膜工艺、真空焊接工艺等,都十分重视真空卫生问题。在电真空工艺中,要求装配到高真空环境的零件,事先都必须小心地进行清洗处理,否则各种污染物可成为大量气体和蒸气的来源,会大大延长真空器件的排气时间,不易获得高真空。


去除或减少污染物将有利于获得良好真空,增加连接强度和气密性,提高产品的寿命和可靠性。

污染物的常见类型

  • 油脂

    加工、安装和操作时沾染的润滑剂、真空油脂等。


  • 水滴

    操作时的手汗,吹玻璃时的唾液等。

 

  • 表面氧化物

    易氧化材料长期基露或放置在潮湿大气中所形成的表面氧化物。

 

  • 酸、碱、盐类物质

    清洗后的残余物质、手汗、自来水中的矿物质等。

 

  • 空气中的尘埃及其它有机物

清洁处理方法

01

溶剂清洗

溶剂清洗是真空系统清洗中最为普遍的一种方法。常见的清洗溶剂包括有机溶剂、含洗涤剂的水、稀酸、碱、石油分馏物、各种金属清洗剂等等。根据污染物的不同,需要用不同的溶剂进行清洗。如矿物油脂需要用有机溶剂,锈蚀物需要用酸性金属清洗剂等。

 

02

超声波清洗

超声波清洗是利用超声空隙作用来清洗目标,可以实现很强的物理清洗作用,清除较强粘附污染物。超声波清洗可以进入复杂的异形孔道,是很多清洗方法无法实现的。超声波清洗在应用中,需要根据污染物的不同,配合各类清洗溶剂。

 

03

蒸汽脱脂清洗

蒸汽脱脂清洗适用于对表面油脂膜和类脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗。一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果,常用于玻璃物件清洗的最后一步。

 

04

电解侵蚀清洗

电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢,镍基合金等。

 

05

加热和辐照清洗

加热清洗主要是将部件置于常压或真空中加热,使其表面上的易挥发污染物挥发来达到清洗的目的。辐照清洗则是通过紫外辐照来分解部件表面上的碳氢化合物。

 

06

放电清洗

放电清洗一般用于高真空、超高真空系统清洗中。利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除。放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系。

 

07

氮气清洗

氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间。

良好的真空环境对真空装置本身及真空工艺都会有好的影响,我们都应该引起重视。

  



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2020年06月12日

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